氦质谱检漏仪开机步骤

1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。

2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。

3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。

4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。

5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。

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